華特氣體打破國外技術壟斷 獲得獲廣東專利獎金獎
2021/1/15 16:49:37 挖貝網
挖貝網 1月15日消息，由于突破高純氨氣純化關鍵技術難題，打破國外技術壟斷，華特氣體獲得第七屆廣東專利獎金獎和第二十一屆中國專利優秀獎。佛山南海區副區長喬吉飛昨日特地向華特氣體頒發牌匾及證書。
據介紹，華特氣體獲得第七屆廣東省專利獎金獎的專利是“一種氨氣的純化系統”（專利號：ZL201610972516.1），該系統經閃蒸、多次吸附、精餾等工藝，能制取純度達99.99999%以上產品，突破高純氨氣純化關鍵技術難題）。此外，該專利能夠更好保障工作人員作業安全，生產過程節能環保，減少環境污染，有利于促進半導體行業高質量發展。
華特氣體獲得第二十一屆中國專利優秀獎的專利是“一種三氟甲烷純化裝置及純化方法”（專利號：ZL201410159290.4），該專利可獲得純度99.999%的CHF3產品，滿足半導體行業要求，采用該專利技術的高純度三氟甲烷產品已經實現批量生產。
華特氣體一直非常重視研發和知識產權保護。截至2020年底，華特氣體母公司擁有有效專利79件，包括發明專利16件、實用新型62件和外觀設計1件。
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