冠石半導體入場首臺先進電子束掩模版光刻機
近日，寧波冠石半導體有限公司迎來關鍵節點，企業引入首臺電子束掩模版光刻機。據悉，該設備是光掩模版40納米技術節點量產及28納米技術節點研發的重點設備。
寧波冠石半導體公司是一家專業從事半導體光掩模版制造的企業，企業主要從事45-28nm半導體光掩模版的規?；a。光掩模版是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形轉移工具或母版，其功能類似于相機的“底片”。作為半導體產業鏈上游重要的原材料之一，光掩模版是承載圖形設計和工藝技術等知識產權信息的載體。目前，我國高精度半導體光掩模版產品主要仍依賴于進口，國產化率極低。
從2023年5月16日落筆簽約，同年10月1日落地開工，2024年1月27日落成結頂，到如今設備陸續進場，搭乘營商環境優化提升“一號改革工程”的“東風”，寧波冠石半導體公司建設按下“快進鍵”，再次刷新前灣新區數字經濟產業的新速度。
門檻高、壁壘厚、而需求旺，光掩模版產業發展空間價值凸顯，在廣闊的國內外市場大有可為。當前，冠石一期潔凈車間設計產能為月產5000片180納米至28納米集成電路掩模版。據冠石相關負責人介紹，企業正加速推進海外布局戰略，并在世界一流半導體光掩模版制造技術班底的加持下，預計今年底，企業將陸續實現為國內外中高端集成電路掩模版提供制版服務。
光掩模版制造是數字經濟產業的關鍵技術，是急需補上的“卡脖子”產業，也是彎道超車、換道超車的重要賽道。寧波冠石半導體是新區補齊半導體產業鏈的重要一環。企業建成投產后將成為國內技術能力先進的獨立光掩模版生產企業，可填補國內高階制程光罩空白，打破國外高端光掩模版的壟斷局面，提高我國半導體光掩模產業的安全和可控性。
產業高質量發展，要做到“新”中有“數”。為此，前灣新區大力招引冠石在內的數字經濟重點項目，攻克芯片、半導體等一批關鍵核心技術，構建以企業為主體的技術創新體系。
近年來，前灣新區聚焦數字經濟產業，引進相關項目超60個，總投資超300億元，聚集了一大批數字經濟龍頭企業，初步培育形成集成電路、智能終端、汽車電子、軟件設計、關鍵傳感器等數字經濟產業鏈。
為進一步優化數字產業發展生態環境，前灣新區還組建20億元的數字經濟產業發展基金，專門投向電子信息制造、工業互聯網、5G+、人工智能等產業方向，助力數字經濟產業加快發展。
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